產(chǎn)品描述：

Lab2000 Auto系列是一種多功能鍍膜設(shè)備（熱蒸發(fā)/熱阻蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)可選），設(shè)計(jì)用于滿足科研工作者和電子顯微學(xué)家的需求。

可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標(biāo)準(zhǔn)化工藝附件，提供一系列實(shí)驗(yàn)技術(shù)以滿足現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室的需要?？蛇x擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的前開(kāi)門(mén)式不銹鋼箱式腔室。腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。

客戶(hù)可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。

真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控，易于操作；高真空泵選擇包括擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門(mén)可在意外情況時(shí)保護(hù)泵和樣品。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

觸屏PLC自動(dòng)控制真空系統(tǒng)

多種可選薄膜沉積源和電源

多種可選樣品夾具

多種可選真空腔室

智能高真空閥門(mén)保護(hù)泵及樣品

緊湊型設(shè)計(jì)，最小化空間占用

無(wú)需壓縮空氣

完整的安全使用互鎖保護(hù)

主要應(yīng)用：

抗反射涂層

半導(dǎo)體

鏡面

介質(zhì)層

有機(jī)物/聚合物和OLED

光電子研究

復(fù)合物半導(dǎo)體

太陽(yáng)能電池

納米技術(shù)